原子力顯微鏡通過檢測待測樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。將一對微弱力敏感的微懸臂一端固定，另一端的微小針尖接近樣品，這時(shí)它將與其相互作用，作用力將使得微懸臂發(fā)生形變或運(yùn)動(dòng)狀態(tài)發(fā)生變化。掃描樣品時(shí)，利用傳感器檢測這些變化，就可獲得作用力分布信息，從而以納米級(jí)分辨率獲得表面形貌結(jié)構(gòu)信息及表面粗糙度信息。 核心組件
探針：通常是半徑在10納米以下的懸臂梁，靠近樣品表面時(shí)，其原子與樣品表面原子間會(huì)產(chǎn)生范德華力、靜電力、化學(xué)鍵作用力等多種力。
激光束反射系統(tǒng)：一束激光照射到懸臂背面并反射到光電二極管陣列上。當(dāng)懸臂因表面作用力發(fā)生彎曲時(shí)，反射光斑在四象光電探測器上的位置會(huì)改變，由此轉(zhuǎn)化為可測量的信號(hào)。
壓電陶瓷掃描臺(tái)：實(shí)現(xiàn)高精度的三維掃描，使探針沿x、y方向逐行移動(dòng)，同時(shí)通過z軸反饋回路控制探針與樣品間的距離，保持相互作用力恒定，進(jìn)而生成包含表面形貌信息的三維圖像。
在原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)域，國內(nèi)外有多家具備技術(shù)實(shí)力和市場影響力的廠家。
蘇州飛時(shí)曼精密儀器有限公司
技術(shù)優(yōu)勢：核心產(chǎn)品包括FM-NanoviewRa-AFM拉曼一體機(jī)，分辨率達(dá)XY向0.2nm、Z向0.05nm，支持?jǐn)U展至50μm×5μm掃描范圍。擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)30多項(xiàng)，研發(fā)的多款產(chǎn)品通過CE、ISO9001、SGS認(rèn)證。
應(yīng)用領(lǐng)域：覆蓋半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等，尤其在半導(dǎo)體器件形貌檢測中表現(xiàn)突出，可實(shí)現(xiàn)非破壞性高效測量。
服務(wù)與定制：提供專業(yè)級(jí)微納米顯微設(shè)備定制，售后服務(wù)響應(yīng)迅速，注重客戶需求匹配。
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